高溫真空熱處理爐設備
一、主要用途：
該設備主要用于真空或低壓保護氣氛的環境下對工件或材料進行加熱處理，提高零件的表面性能及基體組織結構；也可以用于真空加熱除氣、使氧化物蒸發，提高金屬零件表面光亮度。
二、設備技術指標
1、最大工作均溫區：最大工作區間Φ700×800，最高工作溫度1600℃（爐體按1800℃結構設計制造）。
2、設備總功率≤90KW
3、真空度：極限真空度2×10-5Pa,真空獲得系統從大氣到5×10-3Pa的時間小于40min（空爐）；從極限真空停機后24小時后剩余真空度優于1 Pa。
4、升溫要求：從室溫至1200℃，在真空條件下升溫時間≤100min；從室溫至1600℃，在真空條件下升溫時間≤200min。
5、處理零件載量：≥200 kg
6、壓升率≤0.5Pa/h
四、配置要求
1、真空室組件
真空室尺寸內≥ Ф1200mm×1800mm，下底升降開蓋裝料，優質碳鋼噴漆，氦質譜及四極質譜檢漏，螺旋水道水冷夾層，氟橡膠圈密封；真空室設置有觀察窗
2、加熱器及保溫組件
2.1、三高石墨加熱器，高純石墨氈熱屏蔽，可在真空、保護性氣紛下工作；絕緣瓷件采用耐高溫的氮化硼，保證絕緣和耐熱。工件臺采用三高石墨支撐、三高石墨盤等組成保證支撐強度的要求。使用安全可靠，耐高溫壽命長。
2.2、測量及控制溫度范圍室溫～1700℃，極限工作溫度1650℃（真空不超過60分鐘），工作溫度可在1600℃長期工作（真空），可在1000℃充氣條件下長期工作，控溫精度±1℃，可按設定程序控制（進口溫控器）。
2.3、最大工作溫區：≥Ф700×800；
3、工作氣路
由充氣閥、管路、針閥及質量流量計、接頭等構成，數量為2路（解除真空充氮氣及充保護氣氛），數字顯示氣體流量。
4、抽氣機組及閥門、管道
真空泵：機械泵：1臺，擴散泵（含冷阱）1臺；真空獲得系統真空閥：1套；抽速調節閥1-2套；
5、安裝機臺架組件
優質方鋼型材焊接成，快卸圍板表面噴塑處理（顏色需按照要求）；機臺表面用不銹鋼蒙皮裝飾；
6、真空測量及電控系統
6.1、電源機柜：1臺；
6.2、總控制電源：1臺（機械泵、擴散泵、電磁截止閥、真空計等提供電源，有斷電斷水保護功能）；
6.3、加熱控溫IGBT電源：2臺（采用進口控溫表，可實現多段程序控溫）；單臺功率≥ 25KW，電壓50V，電流500A。
6.4、數顯真空計：1套；量程（1.0×105Pa～1.0×10-5Pa）；
7、備件
7.1、所有易損密封口及密封件各2個；
7.2、觀察窗光學玻璃：2塊；
7.3、備用三高石墨加熱器1套；
7.4、電離及電阻真空規管各1只；
7.5、絕緣件1套；
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